砷化鎵晶片研磨用99.5%含量平板狀氧化鋁拋光粉

日期：2024-12-27 07:06:11　人氣：點擊：

砷化鎵晶片研磨用99.5%含量平板狀氧化鋁拋光粉

砷化鎵晶片研磨用99.5%含量平板狀氧化鋁拋光粉是將高純氧化鋁粉末添加助劑，在高溫下進行煅燒的氧化鋁粉末。這種工藝使得氧化鋁晶體的生產方向像平面擴張，得到了晶體厚度3um左右的平板狀α相的氧化鋁。后續(xù)再進行溢流分級沉淀，制成不同粒徑范圍的研磨粉。
平板狀氧化鋁研磨粉Platelet Alumina powder對標Fujimi PWA15和Microgrit WCA15。片狀氧化鋁特殊的片狀結構可以防止晶圓研磨時的劃傷問題，大大提高了晶圓的良品率。高溫煅燒后的平板狀氧化鋁阿爾法轉化率高，硬度和強度好，有利于研磨的高效和持久度。

砷化鎵晶片研磨用99.5%含量平板狀氧化鋁拋光粉的特點：

海旭磨料生產的片狀氧化鋁對標進口產品，可以達到進口片狀氧化鋁粉的研磨效果。
晶型平整無棱角，研磨時磨粒于工件之間產生平面滑動效果，不易產生劃痕。
硬度高，磨削力強。片狀氧化鋁具有類似于剛玉的α-Al2O3晶相，適用與大多數(shù)材料的研磨和拋光。
磁性物含量低，清潔度高，粒徑一致性高。
熔點高，機械強度高，磨削效率高。
顆粒大小可控，3-50微米均可獲得。
顆粒的平整性使片狀氧化鋁粉體易于分散，適合制成研磨劑或研磨液。
耐腐蝕、化學穩(wěn)定性強、抗氧化性能優(yōu)越，不會于研磨液中的液體介質發(fā)生反應。
比表面積大，表面活性和附著力由于電熔剛玉。
片狀氧化鋁易于分散，粉體不易團聚在晶圓表面造成堆積，影響拋光平整度。

產品指標：

化學成分Composition（%）
Item	保證值Standard Value	實測值Tested Value
Al2O3	≥99.5%	99.60
Fe2O3	≤0.04	0.032
SiO2	≤0.03	0.02
Na2O	≤0.02	0.15
物理指標Physical Index
Item	保證值Standard Value	實測值Tested Value
Specific Gravity(g/cm3)	3.96-3.98	3.98
Mohs hardness	≥9	9.0

生產規(guī)格(電阻法）：

型號	D3(um)	D50（um）	D94（um）
HXTA40	39-44.6	27.7-31.7	18-20
HXTA35	35.4-39.8	23.8-27.2	15-17
HXTA30	28.1-32.3	19.2-22.3	13.4-15.6
HXTA25	24.4-28.2	16.1-18.7	9.6-11.2
HXTA20	20.9-24.1	13.1-15.3	8.2-9.8
HXTA15	14.8-17.2	9.4-11	5.8-6.8
HXTA12	11.8-13.8	7.6-8.8	4.5-5.3
HXTA09	8.9-10.5	5.9-6.9	3.3-3.9
HXTA05	6.6-7.8	4.3-5.1	2.55-3.05
HXTA03	4.8-5.6	2.8-3.4	1.5-2.1